
ヘラウス OEM 重水素ランプ XD6295-09、装置純正品番:N&K.30-1345。
N&K Technology薄膜測定システム向けに専用設計、独自の二重貫通光窓構造を採用しています。
✅ 二重透過窓により、重水素ランプ(紫外光)とハロゲンランプ(可視光)の同軸光路を実現、ビームスプリッター不要
✅ 分光領域:185~400nm、合成石英管を採用。深紫外域の光出力が安定し、低ノイズ・低ドリフト
✅ 定格 30W、標準寿命 1000~2000 時間。薄膜屈折率 (n)、消衰係数 (k)、膜厚の高精度測定に対応
✅ N&K OptiPrime、Olympian シリーズ分光反射率測定装置、半導体ウェハ薄膜検査装置に適合
⚠️ご注意:本製品はN&K 装置専用の二重窓透過型重水素ランプです。同型番の単窓 HPLC 用重水素ランプは光学構造が異なり、N&K 装置に代替使用できません。
ランプ交換後はベースライン校正、波長校正を実施してください。石英窓を素手で触れないでください。
用途:半導体ウェハ検査、光学コーティング評価、薄膜 n/k パラメータ・膜厚の非破壊分光測定